Chip-Fertigung mit High-NA-EUV-Lithografie | Bit-Rauschen 2024/26

Mit Dr. Albert Voit und Christof Windeck

Die Herstellung von Halbleiterchips mit feinsten Strukturen steht vor einem Generationswechsel: Für die Fotolithografie kommen neue Maschinen zum Einsatz. Die Technik heißt High-NA EUV, es geht dabei um die Belichtung mit Strahlung aus dem extremen ultravioletten (EUV) Spektrum sowie mit hoher Numerischer Apertur (NA). High-NA-EUV-Lithografie soll noch feinere Strukturen ermöglichen als die bisherige EUV-Technik.

Dank der verkleinerten Strukturen passen künftig mehrere hundert Milliarden Transistoren auf einen einzigen Siliziumchip. Dazu müssen allerdings sehr viele Details der Technik verbessert werden.

Darüber sprechen wir im Podcast Bit-Rauschen mit Dr. Albert Voit von der Firma ZEISS. Letztere hat viele der wesentlichen Komponenten für High-NA-EUV-Lithografie entwickelt und liefert sie an den niederländischen Technologiepartner ASML.

Über EUV-Lithografie hatten wir bereits in den älteren Podcast-Folgen 2023/5 und 2022/14 gesprochen:

Podcast-Folge 2023/5: Expertengespräch zu EUV-Lithografie

Podcast-Folge 2022/14: Die Riesenmaschine

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