EUV-Lithografie: Die Riesenmaschine | Bit-Rauschen 2022/14

Mit Carsten Spille und Christof Windeck

Die feinsten Strukturen aktueller Prozessoren, Smartphone- und Grafikchips messen weniger als 10 Nanometer. Bei der Fertigung solcher Chips kommen Lithografiemaschinen zum Einsatz, die mit kurzwelligem Licht aus dem extremen ultravioletten (EUV-)Spektrum arbeiten – fast schon Röntgenstrahlung.

EUV-Lithografiesysteme kann bisher als einzige Firma weltweit ASML aus den Niederlanden fertigen. In den 200 Tonnen schweren und 150 Millionen Euro teuren Maschinen stecken auch viele Teile aus Deutschland, darunter die Lichtquelle von Trumpf, Zeiss und dem Fraunhofer IOF. Alleine im Anregungslaser stecken 450.000 Bauteile.

Weshalb dieser extreme Aufwand nötig ist, wie die unglaublich komplizierte Lichtquelle arbeitet und weshalb die nächste „High NA“-Generation der EUV-Maschinen noch teurer und größer wird, darüber sprechen Carsten Spille und Christof Windeck in Foge 2022/14 von „Bit-Rauschen: Der Prozessor-Podcast von c’t“.

Anregungen, Lob und Kritik zum Podcast gerne per E-Mail an [email protected]. Bit-Rauschen bei Twitter: @Bit_Rauschen

Alle Podcast-Folgen sowie auch alle c’t-Kolumnen "Bit-Rauschen" finden Sie unter ct.de/bit-rauschen

Noch mehr Lust auf Podcasts? Hier finden Sie noch viele weitere aus dem Heise-Universum: Hören Sie von uns – unsere Podcasts