Expertengespräch zu EUV-Lithografie | Bit-Rauschen 2023/5

Mit Dr. Peter Kürz und Christof Windeck

Superfeine Strukturen auf Halbleiterbauelementen entstehen mithilfe von Lithografiemaschinen. In den meisten stecken optische Komponenten der Firma Zeiss und ihrer Halbleitersparte aus dem schwäbischen Oberkochen.

Für Chips der 7-Nanometer-Klasse und darunter kommt Lithografie mit Licht beziehungsweise Strahlung aus dem extremen ultravioletten (EUV-)Spektrum zum Einsatz. Solche EUV-Systeme kann weltweit nur die Firma ASML liefern, an der Entwicklung waren die deutschen Firmen Zeiss (Optik), Trumpf (Laser) sowie ein europäisches Hochtechnologienetzwerk entscheidend beteiligt. Bei dieser Entwicklung wurden zahllose technische Probleme erfolgreich gelöst, woran insgesamt Tausende Menschen arbeiteten.

Dr. Peter Kürz arbeitet seit 1999 bei Zeiss federführend an der EUV-Entwicklung und erhielt dafür gemeinsam mit seinen Kooperationspartnern von Trumpf und dem Fraunhofer IOF den Deutschen Zukunftspreis 2020 des deutschen Bundespräsidenten.

Mit Dr. Kürz spricht c’t-Redakteur Christof Windeck in Folge 2023/5 von „Bit-Rauschen: der Prozessor-Podcast“ unter anderem über die nächste Generation der EUV-Lithografie: Systeme mit großer Numerischer Apertur (NA), sogenannte High-NA-EUV-Maschinen. Wie die Halbleiterknappheit kürzlich bewies, sind aber weiterhin auch Chips mit gröberen Strukturen gefragt, für die man Systeme mit „Deep Ultraviolet“ (DUV) verwendet.

=== Anzeige / Sponsorenhinweis ===

Diese Ausgabe ist gesponsert von heise Jobs, der Jobbörse für IT-Experten unter dem Dach von heise online. Über 3.000 Stellenanzeigen aus den Bereichen IT, Telekommunikation und E-Business sind auf https://jobs.heise.de/ geschaltet.

=== Anzeige / Sponsorenhinweis Ende ===

Alle Podcast-Folgen sowie auch alle c’t-Kolumnen "Bit-Rauschen" finden Sie unter ct.de/bit-rauschen

Noch mehr Lust auf Podcasts? Hier finden Sie noch viele weitere aus dem Heise-Universum: Hören Sie von uns – unsere Podcasts